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      什么是凈房

      ISO 14644中定義
      空氣懸浮粒子濃度受控的房間、房間的建設和使用方式要盡可能減少室內引入、產生和滯留粒子,室內其它相關參數如溫度、濕度和壓力按要求進行控制;

      分 類

      按布局分類
      單區大空間式:適用于制造業、測試、安裝;
      隧 道 式 :適用于半導體前線;
      超潔凈微凈房: 適用于高級別區域。


      按功能分類
      工業用潔凈室(工業,ICR):如半導體、電子機器、精密機械、精致涂裝、光學、印刷、計器等

      工 業 用 潔 凈 室

      分類

      區分

      對應

      內容



      IC.LSI制作
      結晶精制、擴散、蝕刻、對準、表面處理、金屬附著、研磨、組裝、檢查、半成品保管、包裝。
      超精密加工、防止塵埃附著,防止霉菌的產生,以提升及確保產品的質量。



      電子計算器
      磁鼓、磁帶。
      加工、組裝、防止塵埃附著,防止霉菌的產生,以提升及確保產品的質量。
      電子機器
      光導映像管、布朗管、印刷板、小型繼電器。
       
      電器計測器
      精密電器計器。
       





      航空.宇宙產業
      人工衛生、回轉儀
      防止塵埃、菌、霉引起的事故。防止地球宇宙相互間污染
      精密機器
      微行軸承、普通軸承、高可靠度零件、裝置。
      防止因塵;烊敫街斐傻馁|量劣化。
      光學機器
      鏡片研磨、醫學用照相機、膠卷制造、微縮片、顯像、干燥。
       
      精密機械
      測定、控制用機器制造。
      防止塵埃、菌、霉,以確保及提升質量。
      控制檢查
      環境控制、實驗室、研究室
      防止發生事故。(產品檢查開發)
      印刷
      超精密印刷
      防止塵埃、菌、霉,以確保及提升質量。

      生物用潔凈室(化學,食物,醫療,實驗室等):除ICR的要求外,以過濾或殺菌方式對生物粒子也加以控制的空間。如醫學、藥物、食品及生物實驗等。

      分類

      區分

      對應

      內容







      制藥工業 非無菌藥品 固體制劑、口服液等
      無菌藥品 水針、凍干粉針,非經腸道制劑等
      食品工業 飲料水、乳制品等裝填室食用肉品、火腿包裝室  
      醫療設施 無菌手術室A級 人工關節手術、內臟器官移植手術(心、腎、肝等臟器)、腦神經手術、眼科手術(眼角膜移植)、剖腹生產手術
      一般手術室D級 泌尿科手術、婦產科手術、胸部外科手術、整形外科手術
      感染手術室D級 胸部外科、感染患者手術(梅毒、肝炎….)







      Ⅰ級對人體及公眾危險較低 基礎 枯草桿菌、大腸埃希氏桿菌
      Ⅱ級對人體有輕度危險,對公眾的危險有限 基礎 傷寒沙門氏菌、乙型肝炎病毒、結核分枝桿菌、淋巴細胞性脈絡叢腦膜炎病毒
      Ⅲ級對人體有較高危險,對公眾的危險較低 密閉 布魯氏菌屬、拉沙熱病毒、莢膜組織胞漿菌
      Ⅳ級對人體及公眾均有較高危險 高度密閉 埃波拉-瑪堡病毒、口蹄疫病毒


      按潔凈等級分類(0.5µm)
      •Class 1 • Class 10 • Class 100
      •Class 1K • Class 10K • Class 100K

      按空氣流分類
      •層流型


      •亂流型


      •水平流

      FS-209E 與ISO 14644-1標準的區別

      類別

      FS-209E

      ISO14644-1

      等級劃分

      強調按其潔凈度等級表中所列的標準等級,亦列出等級公式

      強調按等級公式

      等級依據公式

      Cm=(0.5/D)2.2×10M

      粒子數/ft3=Nc*(0.5/D)2.2(英制)

      Cm—某等級下,≥D的懸浮粒子最大濃度限值Pc/m3

      D—被考慮粒徑um

      M—潔凈度等級序數

      Nc—英制單位的潔凈度等級

      Cm=(0.1/D)2.08×10N

      Cn—同上Cm

      D—同上

      N同上M

      等級數

      M1—M7

      ISO1—ISO9級

      測試時潔凈室狀態

      未作規定

      1種或更多狀態

      測試的粒徑范圍要求

      1個或更多

      1個或更多,其粒徑至少應為下一個較小粒徑的1.5倍

      最小取樣體積

      2.83L

      2L

      取樣點數

      非單向流:A×64/(10M)0.5

      單向流:A/2.32,A×64/(10M)0.5中取較小者

       

      取樣次數

      1次或更多

      1次,若僅為一點時則取樣3次

      超微粒子

      ≤0.02um

      <0.1um

      大粒子

      未作規定

      >5um

      等動力取樣

      包括

      未包括

       
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